产品详情
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供应水环真空泵 详细信息
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型号 |
ZS、ZZS-600 |
ZS、ZZS-800 |
ZS、ZZS-1000 |
ZS、ZZS-1200 |
ZS、ZZS-1380 |
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结构形式 |
箱式前开门后置抽气系统 |
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真空室 |
650×600×700 |
800×800×800 |
1000×1000×1200 |
ф1200×1200 |
ф1380×1250 |
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极限压力 |
5×10-4Pa |
6.7×10-4Pa |
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恢复真空时间 |
从1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min |
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电 |
270Oe型枪 |
加速电压(KV) 6,10 |
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数量（套） |
1 |
1,根据用户需要可安装2套 |
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坩埚容积 |
20ml×4槽 |
22ml×4槽 |
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功率(kW) |
6 |
10 |
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电 |
电阻蒸源 |
电压（V）5,10 |
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功率（kW） |
2.5 |
2×2.5 |
2×5 |
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水冷电极数量 |
2 对（交替蒸发） |
2 对（同时蒸发） |
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工件架类型及尺 |
拱型夹具 |
拱型夹具ф740, |
拱型夹具ф950, |
拱型夹具 |
拱型夹具 |
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烘 烤 |
功率(kW) |
4.5 |
9 |
13.5 |
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温度℃ |
350 数显自动控温 |
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离子 轰击 |
电压(V) |
3000 |
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电流(mA) |
300 |
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真空系统配置 |
KT-400扩散泵2X-70,2X-4 |
KT-600扩散泵 |
KT-600扩散泵 |
KT-600 扩散泵 |
KT-800扩散泵 |
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光学膜控控仪 |
垂真光路,透、反射控制，波长400nm-700nm |
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水冷系统 |
水压(kpa) |
约2.5×102 |
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水温(℃) |
＜ 25 |
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压缩空气（kpa） |
(4-6)×102 |
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总功率（kW） |
26 |
36 |
56 |
60 |
65 |
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